技术方案 | 刻蚀机喷淋盘如何实现高效检测？

刻蚀机作为芯片制造三大主设备之一，是我国打破垄断、寻求“芯”突破的拳头产品。刻蚀技术为硅片上做“微雕”，因此对设备的精密性、稳定性要求极高，其关键难点在于保证晶圆表面的刻蚀一致性，而这很大程度上取决于刻蚀气体的馈入方式。喷淋盘则是刻蚀机馈入刻蚀气体的主要部件。

一个直径近半米的喷淋盘上，均匀地分布着几千个细小的圆孔，反应气体正是通过这些小孔进入反应腔体，在射频作用下形成均匀分布的等离子体。为了保证化学气体均匀地进入反应腔体，喷淋盘表面每一个圆孔的直径、内壁都要经得起检验。

喷淋盘

如此超高精度及数量众多的孔径需要快速完成检测，没有绝对硬核的技术方案，是万万不能的。海克斯康依靠自身过硬技术，开发出极具针对性的产品轻松应对该难题，确保客户产品高质量交付，以下为详细检测方案：

检测要求

喷淋盘几千个小孔（不同客户产品设计不同）直径、位置度、圆度等特征尺寸测量；

需要批量检测，要求测量重复性高，测量节拍快。

检测难点

喷淋盘表面小孔数量多达几千，软件需要处理几千个数据，对软件运算能力有较高要求；

程序编写难度大，步骤繁琐。

解决方案

配置OPTIV Advance 8.6.2+ METUS，满足平面几何尺寸快速测量；

自动变焦镜头提供足够的光学放大倍率，小孔细节轻松展示；

同轴光、轮廓光、6环8区表面环形光，多种光源配合，同时满足圆柱通孔，锥形孔上下端面圆检测要求；

METUS软件强大的运算能力保证编程、测量、数据输出过程不卡顿；

速度模式、报表输出与测量并行功能，助力测量效率提升50%；

导入DXF图纸编程，批量导入测量要素，编程简单高效；

报表摘要功能，结合二次编辑图片功能，快速定位、复测；

报告多样化，可输出Excel、CSV、TXT或按用户需求定制。

导入DXF图档，在模型窗口快速编程

CAD图形：直观显示小孔测量要素

OPTIV ADVANCE 8.6.2

海克斯康凭借创新的软硬件技术，保证喷淋盘等大尺寸、大数据量的工件批量测量从理论走向实际，方案已成功应用到多家喷淋盘厂商，后续海克斯康将持续在半导体行业发力，为客户提供优质可靠的解决方案。